【儀器信息網(wǎng)  行業(yè)應(yīng)用】本文采用磁控濺射法在襯底上制備ZAO薄膜，并重點(diǎn)分析了ZAO薄膜的光學(xué)性能。結(jié)果顯示，本實(shí)驗(yàn)條件下，制備的ZAO薄膜結(jié)晶有序，缺陷較低，擇優(yōu)取向生長(zhǎng)，襯底溫度200℃時(shí)薄膜具有良好的可見光透射率。

　　選用儀器

　　光學(xué)性能的探究

　　利用UV-8000型紫外-可見分光光度計(jì)

　　測(cè)量薄膜的可見光透射率

　　圖1是在不同襯底溫度下所制備的Al摻雜量2%的ZAO薄膜的透光率曲線，由圖可見，ZAO薄膜具有明顯的截止吸收邊，在300~800nm入射波長(zhǎng)范圍內(nèi)ZAO薄膜的可見光透過率變化不是很大，ZAO薄膜的可見光透射率在不同襯底溫度下均達(dá)到80%以上，某些波段透光率甚至可以達(dá)到95%，證明ZAO薄膜具有良好的透射率。在本實(shí)驗(yàn)條件下襯底溫度為200℃時(shí)的ZAO薄膜透光率可達(dá)85%。

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