【儀器信息網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】本實(shí)驗(yàn)參考《GB∕T 39145-2020硅片表面金屬元素含量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》，采用LabMS 3000s ICP-MS測(cè)定硅片表面雜質(zhì)元素含量。LabMS 3000s采用的加強(qiáng)型離子透鏡和偏轉(zhuǎn)技術(shù)，結(jié)合高性能冷等離子技術(shù)和新一代碰撞反應(yīng)池技術(shù)，可有效消除干擾，從而獲得更低的檢測(cè)限、背景等效濃度和準(zhǔn)確的超痕量分析結(jié)果，保證數(shù)據(jù)質(zhì)量。

　　1.實(shí)驗(yàn)

　　1.1 儀器設(shè)備

       LabMS 3000s 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，萊伯泰科

　　儀器參數(shù)，見表1。表1 LabMS 3000s ICP-MS 儀器參數(shù)

　　1.2 樣品制備

　　使用真空吸筆吸取硅片背面，使用移液槍將1ml提取液滴加在硅片正面;手動(dòng)傾斜硅片，使提取液掃描整片硅片2次;用移液槍將掃描液轉(zhuǎn)移至PFA樣品瓶待測(cè)。1.3 定量結(jié)果對(duì)于檢出限(DL)、背景等效濃度(BEC)和加標(biāo)回收率測(cè)定結(jié)果，建立 0、25、50、100 ppt標(biāo)準(zhǔn)溶液的標(biāo)準(zhǔn)曲線，所有曲線的線性>0.999，證明了分析方法的線性以及能夠在低濃度下準(zhǔn)確測(cè)定。表2顯示了16種元素的檢出限(DL)、背景等效濃度(BEC)，樣品測(cè)試結(jié)果以及50ppt加標(biāo)回收率結(jié)果。需要注意的是，DL 和 BEC 值不僅反映了儀器的性能，還反映了提取液的污染水平。

　　對(duì)于方法學(xué)有效性而言，長(zhǎng)期穩(wěn)定性與 DL 和 BEC 同等重要。通過(guò)在15h內(nèi)每隔20分鐘測(cè)試QC溶液(硅片提取液加標(biāo)50ppt)一次，來(lái)評(píng)估 LabMS 3000s ICP-MS的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。圖1顯示了15h內(nèi)LabMS 3000s ICP-MS的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，所有元素的回收率在80%-120%范圍內(nèi)。

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