白光干涉測厚儀，鍍膜機(jī)，低溫恒溫器，快速退火爐，探針臺，霍爾效應(yīng)測試儀，半導(dǎo)體專用檢測儀器設(shè)備，太陽光模擬器，激光脈沖沉積(PLD)，電子/半導(dǎo)體，IV測試儀，四探針測試儀，原子層沉積系統(tǒng)（ALD），微波、電、磁學(xué)量的測量儀表，密封試驗(yàn)儀、泄露試驗(yàn)機(jī)，等離子體表面處理儀，電子束刻蝕系統(tǒng)，電熱板，其他電化學(xué)儀，石英晶體微天平，開爾文探針系統(tǒng)，接觸角測量儀，橢偏儀，激光拉曼光譜(RAMAN)